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约翰·道尔顿（JohnDalton）Zui早建议使用一个氢原子的质量来作为原子量的单位。质谱仪的发明人弗朗西斯·威廉·阿斯朗（Francis WilliamAston）后来使用一个氧16分子质量的1/16作为单位。
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在1961年之前，物理原子质量单位被定义为一个氧16原子质量的1/16，而化学原子质量单位则被定义为一个氧原子（计算了不同的氧同位素丰度）质量的1/16。这两个单位都比现在使用的统一原子质量单位小一些。统一原子质量单位是由国际纯粹和应用物理联合会（IUPAP）在1960年以及国际纯粹与应用化学联合会（IUPAC）在1961年所采纳的。[2]
贝采里乌斯（j．j．berzelius，1779～1848）在1814～1826年的12年里连续发表了三张相对原子质量表，所列元素多达49种 [3-4] 。其中大部分相对原子质量已接近现代原子量数值。大约在1828年，贝采里乌斯结合原子热容定律和同晶型定律把长期弄错的钾、钠、银的相对原子质量纠正过来。
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